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敏感(gǎn)元件是能夠靈(líng)敏地感受被測(cè)變量并作出響(xiang)😘應的元件。如✔️:彈(dan)性膜盒能感受(shou)壓力的高低而(er)引起形變,形變(biàn)的程度就🙇♀️是對(dui)壓力高低的響(xiǎng)應,因此,彈性膜(mó)盒是一種壓力(li)敏感元件。
傳感(gan)器不但應該對(dui)被測量敏感,而(er)且具有把它對(duì)被㊙️測量的響應(yīng)傳送出去的功(gong)能。也就是說,傳(chuan)感器不隻是一(yī)般的敏感❓元件(jian)♊,它的輸出響應(ying)還必須是易于(yu)傳送的物理量(liàng)。例如:上訴㊙️的彈(dàn)性膜盒的輸出(chu)響應是形變,是(shì)微小的幾何量(liang),不便于向遠方(fāng)傳送。如果把膜(mó)盒中心的位移(yí)轉變爲電容🌂極(jí)闆的間隙變化(huà),就成爲輸出響(xiǎng)應是電容量的(de)
壓力傳感器。
由(yóu)于電信号便于(yú)傳送,所以絕大(da)多數傳感器的(de)輸出是電🤞量的(de)📱形式,如電壓、電(diàn)流、電阻、電感、電(dian)容、頻率等。
變送(song)器是從傳感器(qi)發展而來的,凡(fán)能輸出标準信(xìn)号的傳感器就(jiu)稱爲變送器。(标(biāo)準信号是物理(li)量的🔆形式和數(shu)值範圍都符合(hé)标準的信号。例(lì)如直流4~20mA)有💛了統(tǒng)一的信号☂️形式(shi)和數值範👄圍,就(jiù)便于把各種變(biàn)🔞送器和其🐇他儀(yi)表組成檢測系(xi)統或調節系統(tong)。
輸出爲非标準(zhǔn)信号的傳感器(qi),必須和儀表或(huò)裝置配套💔,才能(néng)實☔現檢測或調(diào)節功能。爲了通(tong)用性和靈活性(xìng),某些傳感器的(de)輸出可以靠轉(zhuǎn)換器把非标準(zhǔn)信号轉換成标(biāo)準信号,使之與(yu)帶有标準信号(hao)的輸🏃🏻♂️入電路或(huò)接口的儀表配(pei)套。不同的标準(zhun)信号也可💚借助(zhu)于轉換器互相(xiàng)轉換。例如利用(yong)氣/電轉換器,能(néng)把20~100 kPa的空氣壓力(lì)☂️轉換成0~10mA的直流(liu)電流。
位式作用(yong)和連續作用:
位(wèi)式作用,也稱爲(wèi)開關作用,即傳(chuán)感器在輸入變(biàn)量整個變化範(fan)🏃🏻圍内其輸出相(xiang)應隻有兩種狀(zhuang)态,例如空氣狀(zhuàng)态🔱的“高🚶”和“低✊”。
位(wei)式作用的傳感(gǎn)器多用于被測(ce)變量的超限報(bao)警、連🍓鎖保護、順(shùn)序控制。例如我(wo)們的壓力開關(guān)。
需要連續檢測(ce)或調節某些變(bian)量時,就必須用(yong)連續作用的傳(chuán)感器或變送器(qì)。
長野的變送器(qì)中所使用的傳(chuán)感器SS—蒸發型半(bàn)導體應變片的(de)特點:
(1)相對于粘(zhan)貼式和擴散式(shì)技術。
(2)其可測壓(ya)力範圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具有耐(nài)用性和穩定性(xing)。
半導體應變片(piàn)的制作方法:粘(zhān)貼方式、蒸發方(fang)式、擴散方式。
長(zhǎng)野的變送器,如(rú)KM31、KM10 等,其半導體應(ying)變片部分、感應(yīng)元件(不鏽鋼隔(gé)膜)以及壓力接(jie)口部分通過焊(han)接連接🌐成一💋體(tǐ),具有很高的穩(wen)定☔性和可靠性(xìng),抗震性和抗沖(chòng)擊性良好。
蒸發(fa)式半導體應變(bian)片的具體制作(zuo)方式如下:
(1)在不(bú)鏽鋼隔膜上使(shi)用CVD等離子沉澱(diàn)一層SiO2絕緣膜
(2)在(zài)SiO2絕緣膜上再沉(chén)澱一層多晶矽(xi)。
(3)在多晶矽上使(shi)用激光蝕刻,應(ying)變片成型 。
(4)用電(dian)子束照射蒸鍍(du),配上金制電極(jí)。
(5)再使用CVD等離子(zi)沉澱一層SiNx保護(hu)膜。
根據傳感器(qì)或變送器的安(ān)裝場所有無易(yi)燃易爆氣體及(ji)危險程度,選擇(zé)隔爆型及本安(ān)型。
(1)隔爆型在内(nei)部電路和周圍(wei)易燃氣體之間(jiān)采取了🔞隔離措(cuo)施,允許使用在(zai)有一定危險性(xìng)的環境裏 。
(2)本安(an)型即本質安全(quán)型的簡稱,依靠(kào)設計的電路保(bǎo)📐證在正常工作(zuo)及故障(意外短(duan)路或斷路)狀态(tài)下都不會🌍引起(qi)燃爆事故,可用(yong)在十分易燃易(yi)爆的場所。
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